マイクロ加工研究室

野口 裕之 准教授

Laboratory

研究室紹介

素材に超高圧を負荷することにより特殊な材料をつくることができます。この工具には単結晶ダイヤモンドを使用します。当研究室は日本で唯一、ダイヤモンドの凹面加工が実現できる技術と設備を備え、あらゆる材料の特殊ナノ加工に取り組んでおります。

主な研究紹介

集束イオンビーム加工装置(FIB)によるダイヤモンドのナノ形状加工とナノインプリント

集束イオンビーム加工観察装置(以下FIB)を用いた加工は、非加工物に対して直接イオンビームを集束して照射することによりサブナノの単位であらゆる物質を除去できる加工技術である。超硬質材料である単結晶ダイヤモンドを3次元CADから作成した400万点の点群データを用いて除去加工し、ピラミッド形状の金型を25個作製し、光硬化性樹脂を用いて離型剤を使用しないナノインプリント加工を行った。