界面科学研究室

福田 めぐみ 准教授

Laboratory

研究室紹介

マイクロスケール・ナノスケールの界面現象を理解し、ミクロスコピックな世界の吸着と界面制御に表面改質の視点で取り組んでいます。パソコンやスマートフォンなどの小型・軽量化、記憶容量の大量化は、電子デバイスの小型化により進められています。電子デバイス製作には,微細加工技術によるトップダウンプロセスが用いられますが、加工限界を迎え、小さなものを組み上げるボトムアッププロセスも取り入れた電子デバイス作製が注目されています。この小さなものを組み上げるには表面特性の理解が重要です。本研究室では電子デバイスの更なる向上に向けたボトムアッププロセスやデバイスの界面現象制御を目指しています。

主な研究紹介

シランカップリング反応を用いた表面改質

表面改質技術のひとつであるシランカップリング反応のメカニズム解明と反応・処理条件の最適化に取り組んでいます。有機シラン分子をもちいた表面改質はミクロな物質の吸着制御技術に有効です。本研究室では、電子デバイスのボトムアッププロセスに向けた表面改質技術の研究を行っています。

表面改質を用いた摩擦低減

ミクロな世界の摩擦の低減に界面制御の視点で取り組んでいます。摩擦は界面で起きる現象です。ミクロな世界では表面の吸着水量や電荷状態、表面凹凸により摩擦が大きく変化します。表面改質を利用した摩擦低減技術の開発を行っています。