MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)、センサ工学、微細加工学

高感度水晶振動子バイオセンサの研究
センサ高付加価値化に関する研究

第31回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム　論文賞

所属学会：
（社）応用物理学会　正会員
（社）電気学会　正会員

我々の身の回りにある自動車や産業機器、スマートフォン等のメカトロニクス商品には、様々なセンサが数多く使用されています。例えば、自動車1台当たり100個以上のセンサが使用されており、こうしたセンサによって、前方の車両や人間を検出して自動で衝突を回避し、また、濡れた路面で車両が横滑りした際に自動で姿勢を立て直す等の安全走行が実現できています。当研究室では、こうしたメカトロニクス商品の基幹デバイスである『センサ』に着目し、微細加工技術を用いて、人々の生活の向上に繋がる革新的なセンサの創成に取り組んでいきます。

■学生の皆さんへ
何もない“ゼロ”の状態から、発想して“モノ”を創り出す。そして、人々に提供することで喜んで頂く。そんな素晴らしい経験ができる学問が工学です。研究を通じて、一緒に工学の素晴らしさを満喫しましょう。

当研究室では、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術をコア技術として、センサやその応用技術について研究を推進しています。MEMSとは、微細加工技術を用いて製作する、電気と機械の要素を融合した微小なシステムのことです。MEMS技術は、車載や産業、情報通信、バイオ、医療、環境、エコなどの様々な分野への適用が可能なため、当研究室でも、研究対象の分野を制限することなく、自由な発想と幅広い視野による検討を行っています。

■推進テーマ：ラムネ型水晶振動子バイオセンサの研究　〔RAMNE-Q* Biosensor〕
ラムネ瓶中を自由に動き回るガラス玉と同様に、薄板水晶振動子が微小流路中を自由に動けるよう、機械的に固定することなく支持した状態でパッケージしたラムネ型水晶振動子バイオセンサを開発しました。水晶振動子バイオセンサとしては、世界で最も高い周波数（基本共振周波数：500MHz以上**）で駆動するセンサです。
*RAMNE-Q: Resonance Acoustic Microbalance with Naked-Embedded Quartz, **Biosensors 2014