教員一覧(学科、施設別)教員紹介
基幹工学部 電気情報工学科
教授/青柳稔 [電子材料/電子回路システム]

プロフィール
昭和36年3月31日生まれ 博士(工学)
平成10年9月 東京大学大学院工学系研究科電子情報工学専攻博士課程修了
趣味:研究、読書
専門
電子材料物性、電子回路
研究テーマ
超高応力下における原子の移動現象の解明、ナノ材料の生成手法・プロセスの研究、電子デバイスの物性・構造・プロセス・信頼性解析手法の研究、電子回路を用いた実用的な電子システムの開発研究、計測システムの開発研究
社会的活動
日本材料学会マイクロマテリアル部門委員(嘱託)(平成13年9月から)
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アーク放電の様子 -
カーボンナノチューブ -
自走式ロボットの作製
メッセージ
本研究室では、電子材料の研究と、実用的な電子回路の開発を中心に研究開発活動をしています。材料は目に見えない原子から構成されています、また、電子回路は目に見えない電子が動く事で動作します。その目に見る事ができない原子が有効に働いて材料として必要な機能を果たし、電子が動いて電子回路が動作する分けです。どうやって目に見えない電子の動きや原子の働きを知る事が出来るのでしょうか。基本的には数学によってそれらの予測や説明をおこない、実験によってその性質を実際に理解する事になります。また、それらを観察する観察手法や計測手法も重要です。目に見えないものを相手にする事は、推理を解いているような楽しみがあります。
研究概要
青柳研究室では、材料分野では、(1)超高応力下における原子の移動現象の解明(半導体デバイスの金属配線で問題となっているストレスマイグレーション現象の解明)、(2)カーボン・ナノ材料の新しい生成法の研究、(3)水素ラジカルによる新しいナノ材料の生成プロセスの研究を実施している。これらの研究の一部は他大学との共同研究も実施している。 また、電子回路の分野では、(2)自走式ロボットの開発、(2)超音波距離計による測距方法の開発等を行っている。電子回路の研究では、装置組み込みマイコンを使った実用的な回路システムの開発が中心であり、企業との共同研究も行っている
研究教育設備
○電気炉(KCA-15) KOITO
○温度コントローラ(AMF-NT) ASAHI
○オシロスコープ(TDS 1012) Tektronix
○真空ボックス SANPLATEC
○真空ポンプ(PASCAL 2010 SD) ALCATEC
○真空ポンプ(V-500) BUCHI
○電流プローブ(TCP312) Tektronix
○高電圧プローブ(P5100) Tektronix
○直流電源(ZX-1600LA) TAKASAGO