MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)、センサ工学、微細加工学

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)に関する研究を推進
・高周波無線駆動水晶振動子バイオセンサの研究
・水素ガスセンサのための高感度感応膜の研究
・生体情報管理のための体内埋め込み型微小センサの研究

・令和4年度 科学技術分野の文部科学大臣表彰受賞 科学技術賞（研究部門）
・第31回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 論文賞
・第60回 電機工業技術功績者表彰 奨励賞

・応用物理学会
・電気学会
・日本機械学会
・日本設計工学会

我々の身の回りにある自動車や産業機器、スマートフォン等のメカトロニクス商品には、様々なセンサが数多く使用されています。例えば、自動車1台当たり100個以上のセンサが使用されており、こうしたセンサによって、前方の車両や人間を検出して自動で衝突を回避し、また、濡れた路面で車両が横滑りした際に自動で姿勢を立て直す等の安全走行が実現できています。当研究室では、こうしたメカトロニクス商品の基幹デバイスである『センサ』に着目し、半導体微細加工技術を用いて、人々の生活の向上に繋がる革新的なセンサの創成に取り組んでいます。

【学生の皆さんへ】
何もない“ゼロ：０”の状態から、発想して“モノ：１”を創り出す。そして、人々に提供することで喜んで頂く。そんな素晴らしい経験ができる学問が工学です。研究を通じて、一緒に工学の素晴らしさを満喫しましょう！

当研究室では、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術をコア技術として、センサやその応用技術について研究を推進しています。MEMSとは、半導体微細加工技術を用いて製作する、電気と機械の要素を融合した小さなシステムのことです。MEMS技術は、車載や産業、情報通信、バイオ、医療、環境、エコなどの様々な分野への適用が可能なため、当研究室でも、研究対象の分野を制限することなく、自由な発想と幅広い視野による検討を推進しています。

推進テーマの一つに『UHF帯無線駆動水晶振動子バイオセンサの研究』があります。水晶振動子センサは、駆動周波数が高くなるにつれて感度も向上します。本センサは、水晶振動子バイオセンサとして、世界で最も高い周波数（基本共振周波数：1GHz以上*）で駆動し、生体分子反応の検出に成功しました。
（*第45回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウムにおいて発表済）